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国家标准《微束分析 透射电子显微术 集成电路芯片中功能薄膜层厚度的测定方法》 由TC38(全国微束分析标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准化管理委员会

主要起草单位 广东省科学院工业分析检测中心南方科技大学胜科纳米(苏州)股份有限公司

主要起草人 伍超群于洪宇乔明胜陈文龙周鹏邱杨黄晋华汪青程鑫

目录

标准状态

当前标准

GB/T 43748-2024 即将实施

微束分析 透射电子显微术 集成电路芯片中功能薄膜层厚度的测定方法

基础信息

标准号
GB/T 43748-2024
发布日期
2024-03-15
实施日期
2024-10-01
标准类别
方法
中国标准分类号
N 33
国际标准分类号
71.040.40
71 化工技术
71.040 分析化学
71.040.40 化学分析
归口单位
全国微束分析标准化技术委员会
执行单位
全国微束分析标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

起草单位

起草人

伍超群
于洪宇
周鹏
邱杨
程鑫
乔明胜
陈文龙
黄晋华
汪青

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