国家标准《集成电路制造设备术语》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 中国电子技术标准化研究院 、浙江晶盛机电股份有限公司 、中电科电子装备集团有限公司 、北京北方华创微电子装备有限公司 、中微半导体设备（上海）股份有限公司 、上海微电子装备（集团）股份有限公司 、东莞市中镓半导体科技有限公司 、江苏卓远半导体有限公司 。

主要起草人 张军华 、冯亚彬 、曹可慰 、曹建伟 、裴会川 、朱亮 、周哲 、武小娟 、杜若昕 、唐彩红 、丁晓民 、傅林坚 、魏唯 、田涛 、刘英斌 、李国平 、王宏智 。