国家标准《微纳米标准样板（几何量）》 由TC132（全国量具量仪标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国机械工业联合会。

主要起草单位 中国电子科技集团公司第十三研究所 、成都工具研究所有限公司 、广西壮族自治区计量检测研究院 、中国计量科学研究院 、上海市计量测试技术研究院 、中国计量大学 、珠海市怡信测量科技有限公司 。

主要起草人 李锁印 、付兴昌 、梁法国 、韩志国 、赵琳 、冯亚南 、许晓青 、张晓东 、姜志刚 、许刚 、苏翼雄 、张恒 、雷李华 、赵军 、张松涛 、蔡潇雨 、傅云霞 。