国家标准《硅单晶退火片》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 有研半导体硅材料股份公司 、山东有研半导体材料有限公司 、浙江众晶电子有限公司 、洛阳鸿泰半导体有限公司 、开化县检验检测研究院 、浙江中晶科技股份有限公司 、浙江金瑞泓科技股份有限公司 、浙江海纳半导体有限公司 、中环领先半导体材料有限公司 。

主要起草人 孙燕 、宁永铎 、楼春兰 、陈锋 、黄笑容 、王振国 、张海英 、潘金平 、由佰玲 。