国家标准《表面化学分析 全反射X射线荧光光谱法(TXRF)测定硅片表面元素污染》 由TC38(全国微束分析标准化技术委员会)归口,TC38SC2(全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会)执行 ,主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 中国计量科学研究院 、华南理工大学 。
主要起草人 王海 、张艾蕊 、王梅玲 、任丹华 、徐昕荣 、范燕 。
GB/T 40110-2021 现行
71 化工技术 |
71.040 分析化学 |
71.040.40 化学分析 |
本标准等同采用ISO国际标准:ISO 14706:2014。
采标中文名称:表面化学分析 全反射X射线荧光光谱法(TXRF)测定硅片表面元素污染。